最小曝光量(对于最小曝光量简单介绍)-焦点精选
2023-05-28 08:16:38
来源：互联网
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1、最小曝光量。
2、完成下述作用所必需的光学辐照(能够产生光化学反应的电磁辐射)的总累积能量：(1)使给定厚度的胶膜恰好完全溶解复制一个正性光学掩模版；(2)使给定厚度抗蚀剂胶膜恰好不溶解复制一个负性光学掩模版。
文章到此就分享结束，希望对大家有所帮助。
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